Beneq是一家為功能涂層提供工業(yè)的研發(fā)設(shè)備和技術(shù)，同時(shí)也為玻璃行業(yè)帶來了ALD技術(shù)。納米涂層采用Beneq的ALD技術(shù)，能夠增加其防爆性能。Beneg公司高等科學(xué)家Dr Matti Putkone，同時(shí)也是赫爾辛基工業(yè)大學(xué)教授與2009年9月17日在英國蘭開斯特，2009年度玻璃技術(shù)會(huì)議上發(fā)表了他該年的工作成果。
玻璃是一種非常強(qiáng)大的物質(zhì)。但是其微裂紋正好接近破碎的臨界點(diǎn)，當(dāng)?shù)竭_(dá)這個(gè)點(diǎn)的時(shí)候，玻璃就會(huì)碎。ALD的納米涂層填充這些裂縫，大大提高了玻璃的強(qiáng)度。這種增加的抗裂性能在薄膜太陽能電池，建筑玻璃，以及以玻璃為基礎(chǔ)的傳感器的應(yīng)用上尤為明顯。在測(cè)試中，ALD的納米涂層被分別涂在很小的玻璃和很大的玻璃上。小玻璃使用Beneq TFS 500 ALD系統(tǒng)，而大玻璃應(yīng)用P400A, P800, and TFS 1200系統(tǒng)。根據(jù)開裂強(qiáng)度測(cè)試的四個(gè)方面，運(yùn)用ALD系統(tǒng)涂層技術(shù)的玻璃，其抗裂度有明顯的提高。
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